Project Description
Présentation
Le détecteur SXES (pour Soft X-Ray Emission Spectrometer) est un spectromètre ultra-haute résolution à la conception innovante combinant réseau de diffraction et caméra CCD à rayon X ultra-sensible.
Tout comme en EDS, la détection est parallèle, vous pourrez donc analyser plusieurs éléments en même temps. Mais à la différence de l’EDS, le détecteur SXES à une résolution en énergie de 0,3 eV (Fermi-edge, Al-L standard) surpassant même très largement la résolution d’un WDS (8 eV)
détecteur SXES
Ce détecteur peut aussi bien se monter sur nos microsondes de Castaing (tungstène/LaB6 ou FEG) que sur nos MEB FEG (7100F/7200F/7800F).
Aperçu du système
Le design innovant du système optique de ce spectromètre imaginé par JEOL permet la mesure simultanée de spectres avec des énergies différentes, sans déplacer le réseau de diffraction ou même le détecteur (caméra CCD).
Comparaison du SXES avec l’EDS et le WDS
Exemple du nitrure de titane avec les différentes méthodes de spectrométrie
Pour le nitrure de titane, les pics de N -Ka et Ti- Ll se chevauchent en EDS. C’est le cas également du WDS, où il est tout de même possible de les résoudre par déconvolution mathématique.
Comme illustré dans la figure ci-dessous, la résolution en énergie du SXES permet d’observer directement la raie Ti- Ll.
Infos complémentaires
(3 min 27)

2 JEOL Ltd.
Exemple de l’analyse du lithium dans les batteries Li-Ion

Spectre dans la zone C (batterie totalement chargée)
Exemple pour les éléments légers



CARACTERISTIQUES
SXES
0.3 eV
(Fermi edge Al-L)
Réseau de diffraction et caméra CCD
Effet Peltier
WDS
8 eV
(FWHM@Fe-K)
Oui (surtout sur les éléments légers)
Cristal et compteur proportionnel
Pas nécessaire
EDS
120 eV
(FWHM@Mn-K)
SDD
Effet Peltier
Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.