Project Description

Opis instrumentu

Skaningowy mikroskop elektronowy JSM-IT800, wyposażony w polowe działo elektronowe Schottky in-lens Plus (patent JEOL), inteligentny system kontroli układu optycznego Neo Engine oraz w pełni zintegrowany układ spektrometru EDS również firmy JEOL, wprowadza nowy graficzny interfejs użytkownika umożliwiający jednoczesne monitorowanie i pozyskiwanie danych z obserwacji obrazów SEM i danych analizy elementarnej. Wysoce wydajny, z wieloma funkcjami zautomatyzowanymi, mikroskop JSM-IT800 podnosi wydajność pracy o ponad 50% i zapewnia szybsze pogłębienie wiedzy o badanym materiale.

Film video prezentujący w skrócie działanie JSM-IT800

For privacy reasons YouTube needs your permission to be loaded.
I Accept

Kliknij przycisk „replay” żeby rozpocząć odtwarzanie (ok. 2 minuty)

Skaningowy mikroskop elektronowy JSM-IT800 obsługiwany jest poprzez nowy graficzny interfejs użytkownika – SEM Center, który stanowi wspólną platformę dla pełnego zakresu funkcjonalności, od obserwacji obrazów w wysokiej rozdzielczości do szybkiego mapowania rentgenowskiego.

Ten instrument można dostosować do własnych aplikacji i potrzeb wszelkich dziedzin nauki, od biologii po nauki o materiałach. Dzięki innowacyjnej konstrukcji soczewek hybrydowych spełni różnorodne wymagania użytkowników (także tych zainteresowanych próbkami magnetycznymi).

Istnieją dwie wersje JSM-IT800: wersja z soczewką hybrydową (wersja HL), która jest odpowiednia do typowych zastosowań SEM oraz wersja z soczewką superhybrydową (wersja SHL) oferowana szczególnie dla aplikacji wymagających obserwacji i analizy przy bardzo niskim napięciu przyspieszającym z najwyższą rozdzielczością przestrzenną bądź analityczną. Nowy detektor UHD (Superior Hybrid Detector), standardowy detektor dla wersji SHL, zapewnia tu wyjątkową jakość obrazu ze znacznie wyższym stosunkiem sygnału do szumów.

JSM-IT800 może być wyposażony dodatkowo w nowy scyntylacyjny detektor elektronów wstecznie rozproszonych (SBED) i/lub uniwersalny półprzewodnikowy detektor elektronów wstecznie rozproszonych (VBED). Bardzo czuły detektor SBED umożliwia akwizycję obrazów z wysokim kontrastem materiałowym nawet przy niskich napięciach przyspieszających, podczas gdy detektor VBED sprawdzi się przy uzyskaniu obrazów 3D, topografii i kompozycji materiałów.

In-Lens Schottky Plus - działo elektronowe z emisją polową (FEG)

Polowe działo elektronowe In-lens Schottky Plus o konstrukcji wbudowanej w soczewkę kondensora o niskiej aberracji (patent JEOL) oferuje 10-krotnie jaśniejszą wiązkę elektronową (w porównaniu z konwencjonalnym działem Schottky) i to bez skracania czasu życia emitera. Unikalnie wysoki prąd wiązki w tym instrumencie jest dostępny także przy niskich napięciach przyspieszających (100 nA przy 5 kV). Pozwala to użytkownikowi w bardzo prosty sposób wykonywać obserwacje o wysokiej rozdzielczości, szybkie mapowanie pierwiastków, szczegółowe analizy ilościowe, analizę dyfrakcji elektronów wstecznie rozproszonych (EBSD) lub analizę miękkiego promieniowania rentgenowskiego.

Działo elektronowe

NeoEngine (New Electron Optical Engine)

Neo Engine™, będący wynikiem pięciu lat badań rozwojowych firmy JEOL i wyróżniony nagrodą za innowacyjność to zaawansowany system algorytmów bazujących na sztucznej inteligencji, który zarządza i kontroluje 20-to krotnie większą liczbę parametrów niż ma to miejsce w innych oferowanych obecnie SEM. To właśnie postęp w dziedzinie sztucznej inteligencji upraszcza obsługę instrumentu, przyspiesza pracę operatora i oferuje zoptymalizowane funkcje automatyzacji.

AFS - ACB

Obraz przed włączeniem funkcji Autofocus

Obraz po zastosowaniu funkcji Autofocus

Próbka: Nanocząsteczki cyny (Sn) na błonce węglowej
Napięcie przyspieszające: 15 kV, WD: 2mm, tryb obserwacji: BD, detektor: UED, powiększenie: x200,000

SEM Center i integracja EDS

Integracja graficznego interfejsu użytkownika „SEM Center” z systemem JEOL EDS radykalnie rewolucjonizuje obsługę i stosowanie instrumentu SEM.
JSM-IT800 może być wyposażony również w oprogramowanie pomocnicze dla początkujących użytkowników: Smile Navi (opcja), oprogramowanie do poprawy obrazu zbieranego w czasie rzeczywistym: LIVE-AI znacznie ułatwiające wizualny obiór obrazu na żywo (opcja) oraz oprogramowanie SMILE VIEW™ Lab do szybkiego generowania raportów (w standardzie).

Oprogramowanie SEM Center

SMILE VIEWTM Lab

Smile view Lab

Opcja SMILENAVI

SMILENAVI to narzędzie wspomagające, zaprojektowane z myślą o początkujących użytkownikach po to aby umożliwić im płynne wejście w podstawy obsługi SEM. Przyciski wyświetlane na diagramie kolejnych kroków w oprogramowaniu SMILENAVI są przyciskami aktywnymi, tzn. po ich naciśnięciu dana komenda jest naprawdę wykonywana przez instrument przed przejściem do następnego kroku. Ponieważ interfejs tego oprogramowani wyświetla opisy kolejnych kroków operacyjnych i związane z nimi lokalizacje przycisków, użytkownik będzie mógł wkrótce obsługiwać SEM bez pomocy SMILENAVI.

Smilenavi

Wersja z soczewką Hybrid Lens version (HL)
lub wersja z soczewką Super Hybrid Lens version (SHL)

Hybrydowy obiektyw w mikroskopie JSM-IT800 łączy w sobie soczewkę pola elektromagnetycznego i soczewkę pola elektrostatyczną, umożliwiając obserwację i analizę w wysokiej rozdzielczości przestrzennej wszystkich rodzajów próbek, od materiałów magnetycznych po izolatory i próbki biologiczne.

soczewką hybrydową

Detektor UHD (Upper Hybrid Detector)

Nowy detektor UHD, wbudowany w wersji SHL odznacza się dwukrotnie wyższą wydajnością w detekcji oraz lepszym stosunkiem sygnału do szumów tła, co znacznie ułatwia użytkownikowi, w szczególności początkującemu, zbieranie obrazów w wysokiej rozdzielczości


Obrazy w wysokiej rozdzielczości - przykłady aplikacyjne

Próbka: Cząsteczki tlenku glinu, napięcie przyspieszające: 0,5 kV, tryb obserwacji: BD, detektor: UHD
Na powierzchni próbki wyraźnie widoczna schodkowa struktura i odwzorowanie na poziomie kilku nanometrów.

Próbka: Glin (bemit), napięcie przyspieszające: 0.3 kV, tryb obserwacji: BD, detektor: UHD. Struktura cienkich nanopłytek o grubości poniżej 10 nm wyraźnie uwidoczniona na powierzchni.

Próbka: Nanowłókna celulozy (CNF), napięcie przyspieszające: 0,2 kV, tryb obserwacji: BD, detektor: UHD+UED (dodanie sygnałów).
(Dzięki uprzejmości Prof. Hiroyuki Yano (Research Institute for Sustainable Humanosphere, Kyoto University, Japan)
Włókna organiczne można obserwować bez zniszczenia radiacyjnego.

Próbka: tlenek ceru, napięcie przyspieszające: 1,0 kV, tryb obserwacji: SHL, detektor: UHD.
(Dzięki uprzejmości Prof. Seiichi Takami, Nagoya University, Japan).


Próbka: Przekrój poprzeczny przez układ scalony, napięcie przyspieszające: 5.0 kV (bez trybu BD), tryb obserwacji: SHL, detektor: UHD, UED (tryb BSE)
Obraz SE (elektrony wtórne) może być zbierany przy pomocy detektora UHD; natomiast obraz BSE (elektrony wstecznie rozproszone) można uzyskać przy pomocy detektora UED.

Nowe detektory elektronów wstecznie rozproszonych

Nowy scyntylacyjny detektor elektronów wstecznie rozproszonych SBED odznacza się doskonałą czułością i jest szczególne użyteczny przy akwizycji obrazów z typem kontrastu materiałowego zbieranych przy niskich napięciach przyspieszających. Z kolei nowy półprzewodnikowy detektor elektronów wstecznie rozproszonych VBED (Versatile Backscattered Electron Detector) dzięki podziałowi na sektory detekcji umożliwia m.in. akwizycję innych specyficznych obrazów, takich jak obrazy topografii w różnych orientacjach i obrazy rekonstrukcji 3D.

Obrazy SBED (Scintillator Backscattered Electron Detector)

W porównaniu z detektorem półprzewodnikowym, zastosowanie scyntylatora w tym nowym detektorze SBED podwyższa czułość i szybkość detekcji.

Próbka: ultra-cienki skrawek mózgu szczura (odwrócony kontrast), napięcie przyspieszające: 2,0kV

Próbka: toner, napięcie przyspieszające: 1,5kV

Próbka: płytka miedziana (obserwacja przemiany fazowej), napięcie przyspieszające: 25kV

Obrazy VBED (Versatile Backscattered Electron Detector)

Ten półprzewodnikowy detektor złożony jest z 5-ciu odrębnych sektorów detekcji, co umożliwia dobór kąta detekcji zbieranego sygnału elektronów wstecznie rozproszonych dla osiągnięcia konkretnego celu badania.

Wybór kąta detekcji

Próbka: scyntylator, napięcie przyspieszające: 3,0kV
Informacja o składzie chemicznym oraz informacja o topografii zależą silnie od kata wstecznego rozpraszania elektronów. Z tego powodu sektor wewnętrzny daje przede wszystkim informację o kompozycji, natomiast elektrony docierające do zewnętrznych sektorów detektora niosą informację o topografii. Ponadto, porównując kontrast otrzymany na każdym z sektorów zewnętrznych można potencjalnie badać względne różnice w głębokości/wysokości obiektów na powierzchni próbki.

Rekonstrukcja 3D

Próbka: mikrosoczewki elementu CCD, napięcie przyspieszające: 7,0kV
Rekonstrukcja obrazu 3D możliwa po złożeniu obrazów 2D pochodzących z czterech różnych sektorów detektora.

SPECYFIKACJA

WERSJA SHL

0,5 nm (15 kV)
0,7 nm (1 kV)
0,9 nm (500 V)
3,0 nm (15 kV, 5 nA, WD 10 mm)

od 10 V do 30 kV

od kilku pA do 500 nA (30 kV)
od kilku pA do 100 nA (5 kV)

Działo elektronowe z emisją polową In-lens Schottky Plus

Super Hybrid Lens (SHL)

Goniometryczny, w pełni eucentryczny

WERSJA SHLs

0,6 nm (15 kV)
1,1 nm (1 kV)
3,0 nm (15 kV, 5 nA, WD 10 mm)

od 10 V do 30 kV

od kilku pA do 500 nA (30 kV)
od kilku pA do 100 nA (5 kV)

Działo elektronowe z emisją polową In-lens Schottky Plus

Super Hybrid Lens (SHL)

Goniometryczny, w pełni eucentryczny

WERSJA HL

0,7 nm (20 kV)
1,3 nm (1 kV)

od 10 V do 30 kV

od kilku pA do 300 nA (30 kV)
od kilku pA do 100 nA (5 kV)

Działo elektronowe z emisją polową In-lens Schottky Plus

Hybrid Lens (HL)

Goniometryczny, w pełni eucentryczny

DETEKTORY DrySD™

Specyfikacja tego produktu może się zmienić bez ostrzeżenia.